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品川ファインセラミックスはセラミックス製造のエキスパートです。

大型パーツ

製品概要

長年培った大型品製造技術とファインセラミックス事業で実績のある超精密微細加工技術をベースに
高精度大型セラミックス加工部品を供給しております

[特 徴]
  • 軽量
  • 高剛性
  • 高耐食性
  • 低熱膨張率

1.セラミックス材料と品質特性
高精度大型セラミックスパーツ製品例  高精度大型セラミックスパーツには、コスト適応性の
  高いアルミナセラミックスを中心に採用頂いております
  アルミナ純度として94~99.8%クラスの材料を取り揃えております
  またアルミナセラミックス以外にもサイアロン系、ジルコニア系
  セラミックスも一部採用頂いております
  ※各種品質特性につきましては、別項の材料特性表を参照ください


2.アルミナセラミックスの製作可能最大サイズ
  • 長さ ≒ 1900mm
  • 幅  ≒  230mm
  • 肉厚 ≒  120mm



3.可能寸法精度
 寸法、形状および機械加工の度合い等により異なります
 寸法精度面の目安値を下記に示します
  • 未研削の場合(寸法値)±1%程度
  • 一般的なダイヤモンド研削加工の場合、JIS B 0405 中級公差に準じます
  • 特別に精密加工を必要とする場合、寸法、形状等により変化致しますが、代表的な形状の製品例を下記に示します

    大型プレート

      1,000L×700W×30t mm
        平面度 0.01
        平行度 0.01

    大型フレーム

        800L×600W×30t mm
          平面度 0.01
          平行度 0.01
          表面粗さ 0.2μmRa

    長尺バー

      1,100L×100W×100H mm
          平面度 0.002
          平行度 0.002
          直角度 0.002

    ディスク

         Φ400×25t mm
          平面度 0.001(1面:平面仕上)
          平面度 0.003(2面:凸形状仕上)
          平行度 0.001 
         表面粗さ 0.05μmR

    リンク

         Φ360/Φ300×150H mm
          真円度 0.005
          円筒度 0.005
          同心度 0.005
        
    更に高精度精密加工が必要な場合につきましてはご相談に応じます

    4、用途

    ・高精度、耐摩耗パーツへの適用
    高強度、高剛性および高硬度特性を利用して、高精度で、安定した運動、動作が要求される、
    X-Yステージ等 摺動運動下での耐摩耗、低発塵性パーツとして適用されています

     ・各種ステージ用ベース基板
     ・各種X-Yステージ等の摺動レール
     ・2"~12"各サイズでのシリコンウエハ用回転テーブル

    ・環境商品への適用
    各種製造プロセスで使用した、排ガス処理装置用セラミックスパーツとして適用されています
    洗浄プロセスでは薬液から機能水への採用が高まり、オゾナイザー用セラミックスパーツとして
    適用されています

    4-(2) その他の材料

    サイアロン系セラミックス
    高温条件下での耐歪、耐摩耗、耐付着特性からボンディングステージ等に適用されています

    5.焼成体の加工応用例

     お客様の要求に応じて、ダイヤモンド工具にて各種研削、研磨加工致します

    加工応用例   ・各種平面加工、形状加工(~1500L mm)
      ・各種穴加工、座繰り加工
      ・各種ネジ加工
         (M3~:並目、細目、管用等)
      ・各種溝加工
      ・各種ラップ加工
         (材料特性により表面粗さは変化)
      ・各種ブラスト処理
         (投射材:高純度アルミナ)

    6.アセンブリ例

    • ご用命によりメタルパーツとのアセンブリも致します
    • セラミックスパーツの直接接触が不可な場合の適用として下記を推奨致します
          ・テフロンブッシュ圧入
          ・テフロンシート接着(両面テープ)
          ・テフロンコーティング 等
    • ネジの信頼性、強度増加への適用として下記を推奨致します

      ヘリサート挿入

      写真の説明を記入します。

      金属ブッシュ接着

        エポキシ系接着剤使用等









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